TAIWAN NITTA FILTER
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選用化學濾網(Chemical Filter)
改善被污染分子的無塵室
長期性能確認試驗數據介紹
GIGASORB規格 ULPA規格
外型尺寸 590x1080x100mm
GIGASORB 220mm x 3層
(A,L,C各一層)
接觸時間 0.037秒 X 3
(0.11秒)
外框 鋁材


外型尺寸 610x1220x85mm
效率 >99.9995%
濾材 硼矽酸鹽玻璃纖維
型式 迷你摺疊標準品
檢查 用Clean Silica粒子掃瞄


FFU構造
長期性能確認試驗數據介紹
在無塵室中硼濃度的推移
長期性能確認試驗數據介紹
在無塵室中總磷濃度的推移
長期性能確認試驗數據介紹
在無塵室中阿摩尼亞(氨氣)濃度的推移
長期性能確認試驗數據介紹
在無塵室中總有機氣體濃度的推移
長期性能確認試驗數據介紹
在無塵室中矽氧烷,的定量結果
(裝置經過3年後)
u g/m3
外氣 ULPA流出側 GIGASORB
流出側		 定量下限
矽氧烷
(D3~D6)		 0.07 0.12 0.04 0.01
DOP 0.02 0.15 0.02 0.01
DBP 0.03 0.03 0.01 0.01
TBP <0.01 0.01 <0.01 0.01

GIGASORB的有機物吸付量(裝置3年後)
對有機物有關GIGASORB的性能與壽命
無塵室中,比較低沸點的有機物質很多,對於此種成份的去除性能及壽命沒有很好的結果(對保持時間<Retention Time>10分鐘以下的成份,GIGASORB大部份沒辦法吸付)
但是,對於保持時間<Retention Time>20分鐘以上的高沸點的有機物而言,在GIGASORB第一層或第二層為止的MAT,有機物幾乎100%可以被吸付(在第三層以後的成份沒有被檢出)
對氨,硼有關GIGASORB的性能與壽命
(對低濃度氣體去除性能)
設置3年後,上流側的AMMONIA(氨氣)濃度0.73ug/m3 時,在GIGASORB的下流側為0.09ug/m3 ,維持近90%的去除效率
設置3年後,上流側的BORON(硼)濃度0.054ug/m3 時,在GIGASORB的下流側為0.009ug/m3,維持80%以上的去除效率
在無塵室中的晶圓暴露試驗(參考資料)
Chemical Filter
GIGASORB 26個月及36個月期間的使用品
暴露條件 矽晶圓26個月間24小時暴露 矽晶圓36個月間16•25•36小時暴露
分析前處理 在高純度不活性化氣體中加熱
(300°C,30分鐘)脫離後,
在個體吸著劑上濃縮		 在高純度不活性化氣體中加熱
(400°C,37分鐘)脫離後,
在個體吸著劑上濃縮
分析方法
GC-MS

成份 26個月 ULPA FILTER下流側
參考值(ng/cm2)		 GIGASORB 下流側
參考值(ng/cm2)
Trimethylsianol < 0.5 < 0.5
Hexamethyldisiloxane < 0.5 < 0.5
Hexamethylcyclotrisiloxane(D3) < 0.5 < 0.5
Octamethylcyclotetrasiloxane(D4) < 0.5 < 0.5
Decamethylcyclopentasiloxane(D5) < 0.5 < 0.5
Dedecamethylcyclohexasiloxane(D6) < 0.5 < 0.5
(TBP) < 0.2 < 0.2
(TCEP) 5.6 < 0.2
(DOP) 19 4.0

成份 36個月
ULPA FILTER下流側
參考值(ng/cm2)
16小時 25小時 43小時
GIGASORB 下流側
(ng/cm2)
16小時 25小時 43小時
Trimethylsianol
< 0.01 < 0.01 < 0.01
< 0.01 < 0.01 < 0.01
Hexamethyldisiloxane
< 0.01 < 0.01 < 0.01
< 0.01 < 0.01 < 0.01
Hexamethylcyclotrisiloxane(D3)
< 0.01 < 0.01 < 0.01
< 0.01 < 0.01 < 0.01
Octamethylcyclotetrasiloxane(D4)
< 0.01 < 0.01 < 0.01
< 0.01 < 0.01 < 0.01
Decamethylcyclopentasiloxane(D5)
< 0.01 < 0.01 < 0.01
< 0.01 < 0.01 < 0.01
Dedecamethylcyclohexasiloxane(D6)
< 0.01 < 0.01 < 0.01
< 0.01 < 0.01 < 0.01
(TBP)
< 0.010 < 0.015 < 0.076
< 0.01 < 0.01 < 0.01
(TCEP)
0.87 1.2 4.2
< 0.05 < 0.09 < 0.12
(DOP)
3.0 3.6 5.8
2.7 3.7 6.0


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