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空氣過濾網

．中效率 ．高效率 ．超高效率 ．低硼&低有機物

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U-505

U-BLADE

低硼、低有機物空氣過濾網


半導體科技 ROAD MAP 中Design Rule為分子污染的對策必須在0.13μm以下。

台灣霓塔具備革新的高科技的技術來製造低硼、低有機物空氣過濾網，已提供此製品給日本市場的許多客戶。

台灣霓塔的低硼、低有機物製品，以日本Nitta 分子污染評價技術，其性能有被證明。

下個世代的無塵室中為了有效抑制分子污染，若怠慢了低硼、低分子污染的對策，將無法抑制分子污染。

分子污染的對策在超清潔環境有被要求的場合時，化學過濾網、低硼、低有機物空氣過濾網的組合是最適合被選擇使用。　


平板型
標準HEPA Filter

型號	厚度 (mm)	面風速 (m/s)	初期壓損 (Pa)	效率 (0.3um)	安全規格
					UL900	FM4920
LB3502	52	0.5	120	99.99%	---	O
		0.85	210	99.97%
LB3402	68	0.5	95	99.99%	---	O
		0.85	165	99.97%
LB3802	86	0.5	80	99.99%	---	O
		0.85	140	99.97%

LL3502	52	0.5	125	99.97%	---	---
LL3402	68	0.5	100	99.99%	---	---

LO3501	52	0.5	140	99.99%	---	---
		0.85	250
LO3401	68	0.5	110	99.99%	---	---
		0.85	200
LO3801	86	0.5	90	99.99%	---	---
		0.85	160

LL3501	52	0.5	140	99.99%	---	O
		0.85	250
LL3401	68	0.5	110	99.99%	---	O
		0.85	200
LL3801	86	0.5	90	99.99%	---	O
		0.85	160

* UL900&FM4920為選購產品

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平板型
標準ULPA Filter

型號	厚度 (mm)	面風速 (m/s)	初期壓損 (Pa)	效率 (0.1~0.2um)	安全規格
					UL900	FM4920
LB3542	52	0.5	170	99.999%	---	O
LB3442	68	0.5	135	99.999%	---	O
LB3842	86	0.5	110	99.999%	---	O
		0.85	190

LO3541	52	0.5	200	99.999%(5N)	CLASS 2	O
LO3441	68	0.5	145	99.9995%(5N5)	CLASS 2	O
		0.85	250	99.999%(5N)
LO3841	86	0.5	125	99.9995%(5N5)	CLASS 2	O
		0.85	215	99.999%(5N)

LL3541	52	0.5	200	99.999%(5N)	CLASS 2	O
LL3441	68	0.5	145	99.9995%(5N5)	CLASS 2	O
		0.85	250	99.999%(5N)
LL3841	86	0.5	125	99.9995%(5N5)	CLASS 2	O
		0.85	215	99.999%(5N)

* UL900&FM4920為選購產品

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2.硼放射物試驗結果

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3. 專案

從空氣過濾器有機外氣的低減 .

從材料降低有機外氣.

評價: 在晶圓上有機物附著的量測

目標值:<1ng/cm2
(依顧客的需求)

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4. 材料的外氣試驗

試驗設備和材料

設備 TCT (熱吸附冷捕捉注射器) 型號 CP-4020 GL-Science Auto-Sampler 型號 TMD-253H GL-Science GC-MS 型號 MD-800 Thermo-quest 條件 TCT 吸附溫度.80~150。, 10min 注射溫度.250℃ 冷捕捉溫度.-130℃ GC-MS 圓柱管 TC-1 0.25um, 60mx0.25mm 溫度.40℃, 5min---10℃/min, 280℃, 21min 與甲苯 (Toluene)相同

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5. 外氣試驗結果

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6.晶圓試驗對過濾網的評價
(在晶圓上之有機物附著物)

試驗設備和條件 晶圓矽利康(Wafer Silicon) 8寸設備 晶圓熱附著物 - GC - Mass 氣相層析質量分析儀(WTD-GC-MS) 氦氣 溫度.400℃

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7. 晶圓測試結果