.中效率 .高效率 .超高效率 .低硼&低有機物
1. 特長 Panel型ULPAFILTER為以不採用隔板式構造的薄型輕量具高品質及超高捕集效率 性能之空氣過濾網,對0.1~0.2um粒子,其捕集效率可達99.999%以上。
2. 清淨度 無塵室清淨度等級1, 10 (Class1, 10)
3. 用途 .層流式天花板系統 .亂流式吹出口 .無塵工作台、半導體、液晶顯示器等高科技設備之機器組裝用