・中性能 ・高性能 ・超高性能 ・低ボロン&低有機物
クリーンルーム 1 : クラス 100,000
クリーンルーム 2 : ケミカルフィルタ装置設置
生産製品:一般応用ローボロン、 アウトガスフィルタ
開発研究&評価技術は日本ニッタから