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低ボロン＆低有機物エアーフィルタ
| LB: |
低ボロン
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| LO: |
低有機物
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| LL: |
低ボロン・低有機物 |
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半導体TechnologyのROAD MAPではデザインルールが0.13um 以下になると分子汚染対策が必要になります。
TNFはハイテクの技術革新に備えて低ボロンと低有機物エアーフィルタを製造し日本市場において多く顧客に、これらの製品を供給してきました。
TNFの低ボロン、低有機物エアーフィルタ 製品は、日本ニッタの分子汚染評価技術によって、その性能を証明しています。
次世代のクリーンルームでは、分子汚染を制御するために低ボロン、低有機物エアーフィルタ の対策を怠ると分子汚染を制御する事は出来ません。
分子汚染対策でng/ｍ3以下の超清浄環境を要求される場合は、ケミカルフィルタと低ボロン、低有機物エアーフィルタ ULPA の組み合わせが最適な選択です。
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1. フィルタ型式
パネル型
標準HEPA Filter
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型式
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奥行
(mm)
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面風速
(m/s)
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初期圧損
(Pa)
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効率
(0.3um)
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安全規格
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UL900
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FM4920
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| LB3502 |
52
|
0.5
|
120
|
99.99%
|
---
|
O
|
|
0.85
|
210
|
99.97%
|
| LB3402 |
68
|
0.5
|
95
|
99.99%
|
---
|
O
|
|
0.85
|
165
|
99.97%
|
| LB3802 |
86
|
0.5
|
80
|
99.99%
|
---
|
O
|
|
0.85
|
140
|
99.97%
|
| LL3502 |
52 |
0.5 |
125
|
99.97%
|
---
|
---
|
|
| LL3402 |
68 |
0.5 |
100
|
99.99%
|
---
|
---
|
|
| LO3501 |
52 |
0.5 |
140
|
99.99%
|
---
|
---
|
| 0.85 |
250
|
| LO3401 |
68 |
0.5 |
110
|
99.99%
|
---
|
---
|
| 0.85 |
200
|
| LO3801 |
86 |
0.5 |
90
|
99.99%
|
---
|
---
|
| 0.85 |
160
|
| LL3501 |
52 |
0.5 |
140
|
99.99%
|
---
|
O
|
| 0.85 |
250
|
| LL3401 |
68 |
0.5 |
110
|
99.99%
|
---
|
O
|
| 0.85 |
200
|
| LL3801 |
86 |
0.5 |
90
|
99.99%
|
---
|
O
|
| 0.85 |
160
|
* UL900、FM4920規格 オプション。
パネル型
標準ULPA Filter
|
型式
|
奥行
(mm)
|
面風速
(m/s)
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初期圧損
(Pa)
|
効率
(0.1~0.2um)
|
安全規格
|
|
UL900
|
FM4920
|
| LB3542 |
52
|
0.5
|
170
|
99.999%
|
---
|
O
|
|
| LB3442 |
68
|
0.5
|
135
|
99.999%
|
---
|
O
|
|
| LB3842 |
86
|
0.5
|
110
|
99.999%
|
---
|
O
|
|
0.85
|
190
|
| LO3541 |
52 |
0.5 |
200
|
99.999%(5N)
|
CLASS 2
|
O
|
|
| LO3441 |
68 |
0.5 |
145
|
99.9995%(5N5)
|
CLASS 2
|
O
|
| 0.85 |
250
|
99.999%(5N)
|
| LO3841 |
86 |
0.5 |
125
|
99.9995%(5N5)
|
CLASS 2
|
O
|
| 0.85 |
215
|
99.999%(5N)
|
| LL3541 |
52 |
0.5 |
200
|
99.999%(5N)
|
CLASS 2
|
O
|
|
| LL3441 |
68 |
0.5 |
145
|
99.9995%(5N5)
|
CLASS 2
|
O
|
| 0.85 |
250
|
99.999%(5N)
|
| LL3841 |
86 |
0.5 |
125
|
99.9995%(5N5)
|
CLASS 2
|
O
|
| 0.85 |
215
|
99.999%(5N)
|
* UL900、FM4920規格 オプション。
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| 2. ボロン エミッション テスト結果 |
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| 3. プロジェクト |
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エアフィルタからガスの低減
原材料からガスの低減
評価：ウエハーにて有機物付着の測定
目標値：＜1ng/cm2
（お客先の要求による） |
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| 4. 原材料のアウトガス試験 |
| 試験設備と材料 |
設備
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ＴＣＴ
（サーマル、デソプション コルード
トラップ インジェクト
型式：CP-4020GL-Science
オートサンプラー
型式：TMD-253H GL-Science
GC-MS(ガスクロマト質量分析計） |
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条件
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ＴＣＴ
デソープション 温度：80〜150℃
インジェクション温度：250℃
コルード トラップ温度：-130℃
GC-MS(ガスクロマト質量分析計）
カラム TC-１ 0.25um、60mx0.25mm
温度：40℃、5min-10℃/min、280℃、21min
トルエン相当
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| ５. アウトガス試験結果 |
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| 6. ウエハーの試験によって、エアフィルタの評価（ウエハーにて有機物の付着物） |
試験設備と条件
８インチ シリコンウエハー
設備
ウエハー熱デソプション-GC-Mass
ガスクロマト質量分析計
（WTD-GC-MS）
Heガス温度：400℃にて
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| 7. ウエハー試験の結果 |
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