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| 超高性能エアーフィルタ |
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1. 特長
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パネル型ULPA FILTERはセパレータレス構造の薄型、高品質、軽量な超高性能フィルタです。捕集効率≧99.999％以上（ 0.1~0.2um粒子）。
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2. 清淨度
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クリーンルーム清淨度 クラス1, 10
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3. 用途
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・層流式クリーンルームの天井システム用など。
・乱流式クリーンルームの吹出口用。
・クリーン ベンチ、半導体製造装置などの機器組込用。
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パネル型
標準ULPA Filter
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型式
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奥行
(mm)
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面風速
(m/s)
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初期圧損
(Pa)
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効率
(0.1~0.2um)
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安全規格
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UL900
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FM4920
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3541
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52
|
0.5
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200
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99.999%(5N)
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CLASS 2
|
---
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3441
|
68
|
0.5
|
145
|
99.9999%(6N)
|
CLASS 2
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---
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0.85
|
250
|
99.999%(5N)
|
3841
|
86 |
0.5
|
130
|
99.9999%(6N)
|
CLASS 2
|
---
|
|
0.85
|
220
|
99.999%(5N)
|
3941
|
100 |
0.5
|
110
|
99.9999%(6N)
|
CLASS 2
|
---
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0.85
|
190
|
99.999%(5N)
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パネル型
低圧損ULPA Filter
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型式
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奥行
(mm)
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面風速
(m/s)
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初期圧損
(Pa)
|
効率
(0.1~0.2um)
|
安全規格
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|
UL900
|
FM4920
|
3542
|
52
|
0.5
|
170
|
99.999%(5N)
|
CLASS 2 |
O
|
3442
|
68
|
0.5
|
130
|
99.999%(5N)
|
CLASS 2 |
O
|
|
0.75
|
195
|
99.999%(5N)
|
3842
|
86 |
0.5
|
105
|
99.999%(5N)
|
CLASS 2 |
O
|
|
0.85
|
180
|
99.999%(5N)
|
3942
|
100 |
0.5
|
95
|
99.999%(5N)
|
CLASS 2 |
O
|
|
0.85
|
160
|
99.999%(5N)
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* UL900規格、FM4920 オプション。 |
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