| 1.自動 スキャン・リークテストシステム |
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2. 捕集効率とスキャンリーク透過率判定基準表 |
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フィルタ型式
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捕集効率（粒子径レンジ）
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スキャンテストリーク
透過率判定基準
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HEPA
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99.97%(0.300 to 0.399 um)
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0.03%以下
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HEPA
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99.99%(0.300 to 0.399um)
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0.01%以下
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ULPA
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99.999%(0.102 to 0.199um)
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0.001%以下
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ULPA
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99.9995%(0.102 to 0.199um)
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0.001%以下
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ULPA
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99.9999%(0.102 to 0.199um)
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0.0005%以下
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ULPA
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99.99995%(0.102 to 0.199 um)
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0.0005%以下
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ULPA
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99.999995%(0.102 to 0.199um)
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0.0005%以下
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3. 大気塵とシリカ塵の気中元素濃度の比較 |
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| 元素 |
アルミ
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カリウム
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カルシウム
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ナトリウム
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鉄
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銅
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マンガン
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鉛
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塩素
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りん
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硫黄
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大気塵
(ug/m3) |
0.88
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0.52
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0.78
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0.4
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1.1
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0.033
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0.88
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0.52
|
0.78
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0.4
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1.1
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| シリカ塵 (ug/m3) |
< 0.005
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< 0.005
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< 0.005
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< 0.01
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< 0.005
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< 0.005
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< 0.001 |
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*台湾ニッタでは、スキャンテストに使用するの標準測定粒子はクリーン・シリカです。
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| 4. シリカ法とDOP法の相関 |
シリカ粒子による測定結果から、この相関をもとにDOP相当効率を計算します .
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<END>
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