化學過濾網

藉由串珠狀活性碳之三次元纖維構造，可以減低壓力損失並高效率去除氣體，得以更進一步實現LSI之超微細加工所需要的清淨化。

內容

選用化學濾網(Chemical Filter)
改善被污染分子的無塵室

長期性能確認試驗數據介紹

FFU構造

長期性能確認試驗數據介紹 在無塵室中硼濃度的推移

長期性能確認試驗數據介紹 在無塵室中總磷濃度的推移

長期性能確認試驗數據介紹 在無塵室中阿摩尼亞(氨氣)濃度的推移

長期性能確認試驗數據介紹 在無塵室中總有機氣體濃度的推移

長期性能確認試驗數據介紹 在無塵室中矽氧烷,的定量結果

(裝置經過3年後)       u g/m3   外氣 ULPA流出側 GIGASORB 流出側 定量下限 矽氧烷 (D3~D6) 0.07 0.12 0.04 0.01 DOP 0.02 0.15 0.02 0.01 DBP 0.03 0.03 0.01 0.01 TBP <0.01 0.01 <0.01 0.01

GIGASORB的有機物吸付量(裝置3年後)

對有機物有關GIGASORB的性能與壽命

無塵室中,比較低沸點的有機物質很多,對於此種成份的去除性能及壽命沒有很好的結果(對保持時間10分鐘以下的成份,GIGASORB大部份沒辦法吸付)

但是,對於保持時間20分鐘以上的高沸點的有機物而言,在GIGASORB第一層或第二層為止的MAT,有機物幾乎100%可以被吸付(在第三層以後的成份沒有被檢出)

對氨,硼有關GIGASORB的性能與壽命 (對低濃度氣體去除性能)

設置3年後,上流側的AMMONIA(氨氣)濃度0.73ug/m3 時,在GIGASORB的下流側為0.09ug/m3 ,維持近90%的去除效率

設置3年後,上流側的BORON(硼)濃度0.054ug/m3 時,在GIGASORB的下流側為0.009ug/m3,維持80%以上的去除效率

在無塵室中的晶圓暴露試驗(參考資料)

Chemical Filter GIGASORB 26個月及36個月期間的使用品 暴露條件 矽晶圓26個月間24小時暴露 矽晶圓36個月間16‧25‧36小時暴露 DBP 矽晶圓36個月間16‧25‧36小時暴露 在高純度不活性化氣體中加熱 (400°C,37分鐘)脫離後, 在個體吸著劑上濃縮 TBP GC-MS

成份 26個月 外氣 ULPA流出側 Trimethylsianol <0.5 <0.5 Hexamethyldisiloxane <0.5 <0.5 Hexamethylcyclotrisiloxane(D3) <0.5 <0.5 Octamethylcyclotetrasiloxane(D4) <0.5 <0.5 Decamethylcyclopentasiloxane(D5) <0.5 <0.5 Dedecamethylcyclohexasiloxane(D6) <0.5 <0.5 (TBP) <0.2 <0.2 (TCEP) 5.6 <0.2 (DOP) 19 4.0

成份36個月 ULPA FILTER下流側 參考值(ng/cm2) GIGASORB 下流側 (ng/cm2) 16小時 25小時 43小時 16小時 25小時 43小時 Trimethylsianol <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 Hexamethyldisiloxane <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 Hexamethylcyclotrisiloxane(D3) <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 Octamethylcyclotetrasiloxane(D4) <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 Decamethylcyclopentasiloxane(D5) <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 Dedecamethylcyclohexasiloxane(D6) <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 (TBP) <0.010 <0.015 <0.076 <0.01 <0.01 <0.01 (TCEP) 0.87 1.2 4.2 <0.05 <0.09 <0.12 (DOP) 3.0 3.6 5.8 2.7 3.7 6.0

<<其詳細資料>> 
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                                       配管用化學過濾網ENILSORB