ケミカル・フィルタ

球状活性炭又はイオン交換ビーズの三次元フィラメント構造により、低圧力損失でガスを高効率に除去、LSIのさらなる超微細加工にふさわしいクリーン化を実現します。

內容

ケミカル・フィルタによる分子汚染されているクリーンルームの改善

長期性能確認試験データ紹介

FFU構造

長期確認試験データ紹介 クリーンルーム内におけるホウ素濃度の推移

長期確認試験データ紹介 クリーンルーム内における総リン濃度の推移

長期確認試験データ紹介 クリーンルーム内におけるアンモニア濃度濃度の推移

長期確認試験データ紹介 クリーンルーム内における総有機ガス濃度の推移

長期確認試験データ紹介 クリーンルーム内におけるシロキサン、フタル酸エステルの定量結果

（設置後３年間経過）       u g/m3   外氣 外ULPA 下流 ギガソーブ 下流 外定量下 シロキサン (D3～D6) 0.07 0.12 0.04 0.01 DOP 0.02 0.15 0.02 0.01 DBP 0.03 0.03 0.01 0.01 TBP <0.01 0.01 <0.01 0.01

ギガソーブの有機物吸着量（設置後３年）

有機物に対するギガソーブの性能と寿命について

クリーンルームは、比較的低沸点有機物が多く、これらの成分に対する除去性能や寿命は良くない結果となっている。（リテンション・タイム１０分以下の成分はギガソーブにほとんど吸着されない。）

しかしながら、リテンション・タイムが２０分以降の高沸点有機物では、ギガソーブの一層目または二層目までのマットにほぼ１００％吸着されている。（三層目以降に成分が検出されていない。）

アンモニア・ボロンに対するギガソーブの性能と寿命について （低濃度ガスに対する除去性能）

設置後三年で、上流側のアンモニア濃度が0.73μg/m3のとき、ギガソーブの下流側では0.09μg/m3と、90%近い除去効率を維持している。

設置後三年で、上流側のボロン濃度0.054μg/m3のとき、ギガソーブの下流側では0.009μg/m3と、80%以上の除去効率を維持している。

クリーンルームでのウエハ暴露試験（参考資料）

ケミカルフィルタ ｷﾞｶﾞｿｰﾌﾞ、26ヶ月間及び36ヶ月間使用品。 暴露条件 ｼﾘｺﾝ･ｳｪﾊ、26ヶ月目24時間暴露 36ヶ月目 16・25・43時間曝露 分析の前処理 高純度不活性ｶﾞｽ中にて加熱(300℃、30分間)脱離後、個体吸着剤上に濃縮。 高純度不活性ｶﾞｽ中にて加熱(400℃、37分間)脱離後、個体吸着剤上に濃縮。 分析方法 GC-MS

成分26 ヶ月 ULPAﾌｨﾙﾀ下流側 ﾘﾌｧﾚﾝｽ(ng/cm2) ｷﾞｶﾞｿｰﾌﾞ下流側(ng/cm2) ﾄﾘﾒﾁﾙｼﾗﾉｰﾙ <0.5 <0.5 ﾍｷｻﾒﾁﾙｼﾞｼﾛｷｻﾝ <0.5 <0.5 ﾍｷｻﾒﾁﾙｼｸﾛﾄﾘｼﾛｷｻﾝ (3量体) <0.5 <0.5 ｵｸﾀﾒﾁﾙｼｸﾛﾃﾄﾗｼﾛｷｻﾝ (4量体) <0.5 <0.5 ﾃﾞｶﾒﾁﾙｼｸﾛﾍﾟﾝﾀｼﾛｷｻﾝ (5量体) <0.5 <0.5 ﾄﾞﾃﾞｶﾒﾁﾙｼｸﾛﾍｷｻｼﾛｷｻﾝ (6量体) <0.5 <0.5 ﾘﾝ酸-ﾄﾘ-n-ﾌﾞﾁﾙ (TBP) <0.2 <0.2 ﾘﾝ酸-ﾄﾘ-ｸﾛﾛ-ｴﾁﾙ (TCEP) 5.6 <0.2 ﾌﾀﾙ酸-2-ｴﾁﾙﾍｷｼﾙ (DOP) 19 4.0

成分36 ヶ月 ULPAフィルタ下流側リファレンス(ng/cm2) ギガソーブ下流側(ng/cm2) 16hour 25hour 43hour 16hour 25hour 43hour トリメチルシラノール <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 ヘキサメチルジシロキサン <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 ﾍｷｻﾒﾁﾙｼｸﾛﾄﾘｼﾛｷｻﾝ (3量体) <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 ｵｸﾀﾒﾁﾙｼｸﾛﾃﾄﾗｼﾛｷｻﾝ (4量体) <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 ﾃﾞｶﾒﾁﾙｼｸﾛﾍﾟﾝﾀｼﾛｷｻﾝ (5量体) <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 ﾄﾞﾃﾞｶﾒﾁﾙｼｸﾛﾍｷｻｼﾛｷｻﾝ (6量体) <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 ﾘﾝ酸-ﾄﾘ-n-ﾌﾞﾁﾙ (TBP) <0.010 <0.015 <0.076 <0.01 <0.01 <0.01 ﾘﾝ酸-ﾄﾘ-ｸﾛﾛ-ｴﾁﾙ (TCEP) 0.87 1.2 4.2 <0.05 <0.09 <0.12 ﾌﾀﾙ酸-2-ｴﾁﾙﾍｷｼﾙ (DOP) 3.0 3.6 5.8 2.7 3.7 6.0

■GIGASORB :Data sheet