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高效/超高效平板型低釋氣HEPA/ULPA空氣濾網

採用SPleats TM 小型摺紙片配置，相較於鋁隔板型ULPA要更薄型、輕量及高捕集效率之空氣過濾網

有墊片氣密型與果凍膠框、刀腳框等多樣客製選擇

安裝於無塵室上方天花板，搭配高架地板可達到Class 1000

LL(Low outgas)：
使用低硼低有機物玻璃纖維濾紙
LB(Low boron)：
使用低硼玻璃纖維濾紙
LO(Low organic)：
使用低有機物玻璃纖維濾紙

 

內容
  • 特色優點：有效減少不純物廢氣的釋出量(硼、有機物)，全數自動檢測出廠。低釋氣效能次於PTFE濾網，但三維濾紙面積大、壽命較長。
  • HEPA：符合EN 1822標準H13/99.95%(MPPS)，以及IEST-RP-CC標準 99.99%。
  • ULPA：符合EN 1822標準U15、U16/99.9995%(MPPS)、99.99995%(MPPS)，以及IEST-RP-CC標準99.999%、99.9999%、 (0.1~0.2㎛)。
  • 潔淨度：CLASS 1~100。
  • 過濾範圍：過濾大於0.1~0.2㎛之最容易穿透微小粒子(MPPS)。
  • 應用業別：EUV設備，FOUP、Stocker自動化區域，光電、半導體，工業廠房黃光區，醫療設施、實驗室，食品與製藥工業，無菌操作台，FFU風扇濾網組。
  • 建議更換週期：1~2年建議更換。
(視現場環境而定，肉眼可見髒污變色、破損，或出風量降為80%以下時，建議更換。)
 

低硼LOW BORON高效HEPA空氣濾網-標準型號  
【c-LB3402】型錄下載
【c-LB3502】型錄下載
【c-LB3802】型錄下載
 
型號 尺寸※
厚度
(mm)		 風速
(m/s)		 壓損
(Pa)		 效率
(0.3µm)
LB3502-62 FF AA 610x610x68 0.5 120 99.99%
0.85 210 99.97%
LB3402-62 FF AA 610x610x86 0.5 95 99.99%
0.85 165 99.97%
LB3802-62 FF AA 610x610x100 0.5 80 99.99%
0.85 140 99.97%
※其他尺寸、規格請洽電商談。
 

低有機物LOW ORGANIC高效/超高效ULPA空氣濾網-標準型號
【c-LO3501】型錄下載
【c-LO3401】型錄下載
【c-LO3801】型錄下載
【c-LO3441】型錄下載
【c-LO3541】型錄下載
【c-LO3841】型錄下載
 

高效低有機物LOW ORGANIC HEPA濾網
型號 尺寸※
厚度
(mm)		 風速
(m/s)		 壓損
(Pa)		 效率
(0.3µm)
LO3501-62 FF AA 610x610x52 0.5 140 99.99%
0.85 250
LO3401-62 FF AA 610x610x68 0.5 110
0.85 200
LO3801-62 FF AA 610x610x86 0.5 90
0.85 160
 

超高效低有機物LOW ORGANIC ULPA濾網
型號 尺寸※
厚度
(mm)		 風速
(m/s)		 壓損
(Pa)		 效率
(0.1~0.2µm)
LO3541-62 FF AA 610x610x68 0.5 200 99.999%(5N)
LO3441-62 FF AA 610x610x86 0.5 145 99.9995%(5N5)
0.85 250 99.999%(5N)
LO3841-62 FF AA 610x610x100 0.5 125 99.9995%(5N5)
0.85 215 99.999%(5N)
※其他尺寸、規格請洽電商談。
 

低硼低有機物LOW OUTGAS高效/超高效ULPA空氣濾網-標準型號
【c-LL3501】型錄下載
【c-LL3502】型錄下載
【c-LL3401】型錄下載
【c-LL3402】型錄下載
【c-LL3801】型錄下載
【c-LO3441】型錄下載
【c-LO3541】型錄下載
【c-LO3841】型錄下載
 

高效低硼低有機物LOW OUTGAS HEPA濾網
型號 尺寸※
厚度
(mm)		 風速
(m/s)		 壓損
(Pa)		 效率
(0.3µm)
LL3501-62 FF AA 610x610x52 0.5 140 99.99%
0.85 250
LL3502-62 FF AA 610x610x52 0.5 125
LL3401-62 FF AA 610x610x68 0.5 110
0.85 200
LL3402-62 FF AA 610x610x68 0.5 100
LL3801-62 FF AA 610x610x86 0.5 90
0.85 160
 

超高效低硼低有機物LOW OUTGAS ULPA濾網
型號 尺寸※
厚度
(mm)		 風速
(m/s)		 壓損
(Pa)		 效率
(0.1~0.2µm)
LL3541-62 FF AA 610x610x68 0.5 200 99.999%(5N)
LL3441-62 FF AA 610x610x86 0.5 145 99.9995%(5N5)
0.85 250 99.999%(5N)
LL3841-62 FF AA 610x610x100 0.5 125 99.9995%(5N5)
0.85 215 99.999%(5N)
※其他尺寸、規格請洽電商談。
 

內容
  • 特色優點：有效減少不純物廢氣的釋出量(硼、有機物)，全數自動檢測出廠。低釋氣效能次於PTFE濾網，但三維濾紙面積大、壽命較長。
  • HEPA：符合EN 1822標準H13/99.95%(MPPS)，以及IEST-RP-CC標準 99.99%。
  • ULPA：符合EN 1822標準U15、U16/99.9995%(MPPS)、99.99995%(MPPS)，以及IEST-RP-CC標準99.999%、99.9999%、 (0.1~0.2㎛)。
  • 潔淨度：CLASS 1~100。
  • 過濾範圍：過濾大於0.1~0.2㎛之最容易穿透微小粒子(MPPS)。
  • 應用業別：EUV設備，FOUP、Stocker自動化區域，光電、半導體，工業廠房黃光區，醫療設施、實驗室，食品與製藥工業，無菌操作台，FFU風扇濾網組。
  • 建議更換週期：1~2年建議更換。
(視現場環境而定，肉眼可見髒污變色、破損，或出風量降為80%以下時，建議更換。)
 

低硼LOW BORON高效HEPA空氣濾網-標準型號  
【c-LB3402】型錄下載
【c-LB3502】型錄下載
【c-LB3802】型錄下載
 
型號 尺寸※
厚度
(mm)		 風速
(m/s)		 壓損
(Pa)		 效率
(0.3µm)
LB3502-62 FF AA 610x610x68 0.5 120 99.99%
0.85 210 99.97%
LB3402-62 FF AA 610x610x86 0.5 95 99.99%
0.85 165 99.97%
LB3802-62 FF AA 610x610x100 0.5 80 99.99%
0.85 140 99.97%
※其他尺寸、規格請洽電商談。
 

低有機物LOW ORGANIC高效/超高效ULPA空氣濾網-標準型號
【c-LO3501】型錄下載
【c-LO3401】型錄下載
【c-LO3801】型錄下載
【c-LO3441】型錄下載
【c-LO3541】型錄下載
【c-LO3841】型錄下載
 

高效低有機物LOW ORGANIC HEPA濾網
型號 尺寸※
厚度
(mm)		 風速
(m/s)		 壓損
(Pa)		 效率
(0.3µm)
LO3501-62 FF AA 610x610x52 0.5 140 99.99%
0.85 250
LO3401-62 FF AA 610x610x68 0.5 110
0.85 200
LO3801-62 FF AA 610x610x86 0.5 90
0.85 160
 

超高效低有機物LOW ORGANIC ULPA濾網
型號 尺寸※
厚度
(mm)		 風速
(m/s)		 壓損
(Pa)		 效率
(0.1~0.2µm)
LO3541-62 FF AA 610x610x68 0.5 200 99.999%(5N)
LO3441-62 FF AA 610x610x86 0.5 145 99.9995%(5N5)
0.85 250 99.999%(5N)
LO3841-62 FF AA 610x610x100 0.5 125 99.9995%(5N5)
0.85 215 99.999%(5N)
※其他尺寸、規格請洽電商談。
 

低硼低有機物LOW OUTGAS高效/超高效ULPA空氣濾網-標準型號
【c-LL3501】型錄下載
【c-LL3502】型錄下載
【c-LL3401】型錄下載
【c-LL3402】型錄下載
【c-LL3801】型錄下載
【c-LO3441】型錄下載
【c-LO3541】型錄下載
【c-LO3841】型錄下載
 

高效低硼低有機物LOW OUTGAS HEPA濾網
型號 尺寸※
厚度
(mm)		 風速
(m/s)		 壓損
(Pa)		 效率
(0.3µm)
LL3501-62 FF AA 610x610x52 0.5 140 99.99%
0.85 250
LL3502-62 FF AA 610x610x52 0.5 125
LL3401-62 FF AA 610x610x68 0.5 110
0.85 200
LL3402-62 FF AA 610x610x68 0.5 100
LL3801-62 FF AA 610x610x86 0.5 90
0.85 160
 

超高效低硼低有機物LOW OUTGAS ULPA濾網
型號 尺寸※
厚度
(mm)		 風速
(m/s)		 壓損
(Pa)		 效率
(0.1~0.2µm)
LL3541-62 FF AA 610x610x68 0.5 200 99.999%(5N)
LL3441-62 FF AA 610x610x86 0.5 145 99.9995%(5N5)
0.85 250 99.999%(5N)
LL3841-62 FF AA 610x610x100 0.5 125 99.9995%(5N5)
0.85 215 99.999%(5N)
※其他尺寸、規格請洽電商談。
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