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配管用化學過濾網ENILSORB

專用於曝光機、雷射加工等機台，去除給、排氣系統壓縮氣體內AMC微汙染氣體

PCDA化學濾網

 

內容
  • 特色優點：簡單安裝作業，即可直接與空壓配管串連。 
  • 過濾範圍、效率：針對AMC管制需過濾之氣體: VOCs 揮發性有機化合物、ACIDs 酸性氣體、BASEs 鹼性氣體。
  • 應用業別：曝光機、半導體製程設備、雷射加工機、計測儀器周邊、太陽電池玻璃基板加工、再生醫療、分析、檢查儀器。
 

配管用化學過濾網ENILSORB -標準型號  
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風量 型式 尺寸
(mm)		 接頭
(inch)		 本體housing 重量
30L/mim PG-F32A38S158TS Ø80x158 Rc 3/8in SUS304 約2kg
50L/mim PG-F50A38S258TS Ø100x258 Rc 3/8in 約4kg
100L/mim PG-F100A12S258TS Ø170x258 Rc 1/2in 約10kg
※其他尺寸、規格請洽電商談。
 

化學濾材可混合堆層，客製雙效、三效、長壽命等不同性能
※安裝位置參考圖

高壓配管實裝試驗數據-初期除去效率
(酸性NO2-酸性CH3COO-鹼性NH4-有機C6以上) 
 

高壓配管用化學過濾網GIGASORB pipe type -標準型號
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  • 專用於結晶、半導體製程之高壓配管化濾，可針對目標氣體客製濾材組合，達到最佳效果、壽命。
型式 GLC-XXX-150A-940
Outline size 1400(main pipe 940)
Entrance frange JIS 10k 80A
Materials SUS304
Internal processing Electrolysis polishing
Washing Ultrasonic wave(Ultra pure)
 
 

內容
  • 特色優點：簡單安裝作業，即可直接與空壓配管串連。 
  • 過濾範圍、效率：針對AMC管制需過濾之氣體: VOCs 揮發性有機化合物、ACIDs 酸性氣體、BASEs 鹼性氣體。
  • 應用業別：曝光機、半導體製程設備、雷射加工機、計測儀器周邊、太陽電池玻璃基板加工、再生醫療、分析、檢查儀器。
 

配管用化學過濾網ENILSORB -標準型號  
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風量 型式 尺寸
(mm)		 接頭
(inch)		 本體housing 重量
30L/mim PG-F32A38S158TS Ø80x158 Rc 3/8in SUS304 約2kg
50L/mim PG-F50A38S258TS Ø100x258 Rc 3/8in 約4kg
100L/mim PG-F100A12S258TS Ø170x258 Rc 1/2in 約10kg
※其他尺寸、規格請洽電商談。
 

化學濾材可混合堆層，客製雙效、三效、長壽命等不同性能
※安裝位置參考圖

高壓配管實裝試驗數據-初期除去效率
(酸性NO2-酸性CH3COO-鹼性NH4-有機C6以上) 
 

高壓配管用化學過濾網GIGASORB pipe type -標準型號
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  • 專用於結晶、半導體製程之高壓配管化濾，可針對目標氣體客製濾材組合，達到最佳效果、壽命。
型式 GLC-XXX-150A-940
Outline size 1400(main pipe 940)
Entrance frange JIS 10k 80A
Materials SUS304
Internal processing Electrolysis polishing
Washing Ultrasonic wave(Ultra pure)
 
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